Inficon UL5000 超大抽速氦质谱检漏仪
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产品名称: Inficon UL5000 超大抽速氦质谱检漏仪
产品型号: Inficon UL5000 Dry Helium Leak Detector
产品展商: Inficon
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简单介绍
Inficon UL5000 Dry Helium Leak Detector 拥有两台涡轮分子泵，具备超大抽速，主要应用在半导体管道等大型腔室或超长管道检漏，Inficon UL5000 超大抽速氦质谱检漏仪对氦气抽速最大为20L/s, 最小检测漏率为5E-12 mbar*L/s, 其外观机械尺寸为1068*530*1083mm, 42.5*21*42.6inch, UL5000重量：140公斤，308磅。
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Inficon UL5000 超大抽速氦质谱检漏仪
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