Inficon UL5000 超大抽速氦質譜檢漏儀
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產品名稱: Inficon UL5000 超大抽速氦質譜檢漏儀
產品型號: Inficon UL5000 Dry Helium Leak Detector
產品展商: Inficon
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簡單介紹
Inficon UL5000 Dry Helium Leak Detector 擁有兩臺渦輪分子泵，具備超大抽速，主要應用在半導體管道等大型腔室或超長管道檢漏，Inficon UL5000 超大抽速氦質譜檢漏儀對氦氣抽速最大為20L/s, 最小檢測漏率為5E-12 mbar*L/s, 其外觀機械尺寸為1068*530*1083mm, 42.5*21*42.6inch, UL5000重量：140公斤，308磅。
中山共享光電真空技術有限公司專業代理UL5000 Dry helium Leak
Inficon UL5000 超大抽速氦質譜檢漏儀
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