PerkinElmer 珀金埃爾默 Mass Spectrometry，NexION 350X ICP-MS system SplitFlow Turbo Pump
美國PerkinElmer NexION 350X 電感耦合等離子體質譜儀三入口渦輪分子泵 為德國Pfeiffer Vacuum 為PE 定制：
對應資料如下：
Pfeiffer Vacuum D-34614 Asslar
Mod: TMH 521-400-030 YP 3P
M-No. PM P03 187
Oil : PM 143 451 -T
S(N2): 300L/s
轉速：49980 rpm, 833Hz
Pfeiffer TC 400
PM C01 800 A
Input ：24V/48V DC +-5% 15A
Output : 0-48V 12A 0-1000Hz
Pfeiffer TMH521-400-030 YP Splitflow tubopump, 我們可以看到其有三個入氣口，可以同時抽三個腔體的真空
中山共享光電真空技術有限公司 專業提供 PE NexION 350X 電感耦合等離子體質譜儀內部渦輪分子泵的維修服務，
若您的渦輪分子泵出現問題，請聯系我們。
以下為我司為不同客戶維修/保養 PerkinElmer NexION 350X 三入口渦輪分子泵的實拍圖片，
我們可以看到，這臺泵為德國2017年8月份生產的，對應轉速為49980轉/分鐘，對應頻率為833Hz, Pfeiffer Splitflow
TMH521-400-030 YP , 對應P/N ： PM P03 187 O， 對應潤滑油杯為PM 143 451-T， 對應質量為23.0KG
這是美國PerkingElmer NexION 350X 電感耦合等離子體質譜儀內部渦輪分子泵的全貌圖
這是我司，利用德國Inficon UL1000 Fab 氦質譜檢漏儀對PerkinElmer 珀金埃爾默 ICP-MS NexION 350X質譜儀內部
渦輪分子泵進行檢漏的實拍圖
