PerkinElmer 珀金埃尔默 Mass Spectrometry，NexION 350X ICP-MS system SplitFlow Turbo Pump
美国PerkinElmer NexION 350X 电感耦合等离子体质谱仪三入口涡轮分子泵 为德国Pfeiffer Vacuum 为PE 定制：
对应资料如下：
Pfeiffer Vacuum D-34614 Asslar
Mod: TMH 521-400-030 YP 3P
M-No. PM P03 187
Oil : PM 143 451 -T
S(N2): 300L/s
转速：49980 rpm, 833Hz
Pfeiffer TC 400
PM C01 800 A
Input ：24V/48V DC +-5% 15A
Output : 0-48V 12A 0-1000Hz
Pfeiffer TMH521-400-030 YP Splitflow tubopump, 我们可以看到其有三个入气口，可以同时抽三个腔体的真空
中山共享光电真空技术有限公司 专业提供 PE NexION 350X 电感耦合等离子体质谱仪内部涡轮分子泵的维修服务，
若您的涡轮分子泵出现问题，请联系我们。
以下为我司为不同客户维修/保养 PerkinElmer NexION 350X 三入口涡轮分子泵的实拍图片，
我们可以看到，这台泵为德国2017年8月份生产的，对应转速为49980转/分钟，对应频率为833Hz, Pfeiffer Splitflow
TMH521-400-030 YP , 对应P/N ： PM P03 187 O， 对应润滑油杯为PM 143 451-T， 对应质量为23.0KG
这是美国PerkingElmer NexION 350X 电感耦合等离子体质谱仪内部涡轮分子泵的全貌图
这是我司，利用德国Inficon UL1000 Fab 氦质谱检漏仪对PerkinElmer 珀金埃尔默 ICP-MS NexION 350X质谱仪内部
涡轮分子泵进行检漏的实拍图
