Varian TV 1001 Navigator 涡轮分子泵维修－瓦里安Tv1001涡轮分子泵维修
Varian瓦里安分子泵是在欧洲意大利生产，广泛用于各类
分析仪器中，在varian及Agilent的分析仪器中，Varian的分子泵占据统治地位，
全中国绝对多数分析奶粉三聚氰胺含量的仪器，都会用到Varian的产品。
美国的Agilent公司（原美国HP公司，分析仪器部）于2010年收购了Varian。
这个标志将是将来大家看到的瓦里安的新标志，安捷伦
中山共享专业维修Varian TV1001 Navigator涡轮分子泵
中山共享光电真空技术有限公司专业维修的Vatian TV 1001 NAV涡轮分子泵
varian TV1001 Navigator分子泵内置分子泵控制器有接口尺寸为ISO160 ISO200， CF10’’（CF160） 及ISO200F,ISO250 ISO250F,分别对应如下：
Varian TV1001 Model 969-8838 with ISO 200 high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8844 with ISO 200 F high vacuum lange;
Varian TV1001 Model 969-8839 with ConFlat 10” external diameter high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8840 with ISO 160 high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8841 with ISO 250 high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8845 with ISO 250 F high vacuum flange.
Varian TV1001带内置控制器的订货示意图如下：
Varian TV1001分子泵外置控制器的，其接口尺寸一样有六种，分别为ISO160 ISO200， CF10’’（CF160）
及ISO200F,ISO250 ISO250F,
Varian TV1001 Model 969-8931 with ISO 200 high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8946 with ISO 200 F high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8932 with ConFlat 10” external diameter high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8933 with ISO 160 high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8934 with ISO 250 high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8947 with ISO 250 F high vacuum flange.
对应的订货号示意图如下：
Varian TV1001 的涡轮转子采用Varian**的“MacroTorr”技术设计加工而成，整个涡轮转子整体成型，共有由11层叶片组成，前七层为标准叶片，每层的角度从高到低，后四层为Varian **技术的“Macrotorr”碟片组成，涡轮转子其在分子泵内部以38000转／分钟的速度高速旋转
以下为Varian TV1001的涡轮转子实拍图
Felight Vacuum System Co.,LTD 专业维修Varian TV1001涡轮分子泵。我司针常用的Varian TV1001分子泵维修保养内容如下：
＊超声波**清洗转/定子叶片及腔体并烘干
＊更换了全套原装进口陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品
＊马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量
＊根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.１6标准
＊测试0-38000rpm启动时间<3分钟
*测试极限真空值<1.0*10－7mbar
*持续模拟生产现场测试24小时
＊0-20KHz震动频谱加速度分析
＊6000-380000rpm全转速动平衡分析及校准
＊Pfeiffer HLT560氦质谱检漏仪测试分子泵的渗漏率小于2.0*10-9mbar*L/s
Varian TV1001常见的真空结构示意图如下：
图片中的就是Varian TV1001 Navigator涡轮分子泵
Varian TV1001 NAV Model：9698932是指其口径为CF10寸
Varian TV 1001的技术参数如下：
上方图片中，中间的口为排气空，下方的空为轴承充气保护口，对应流量为20SCCM.
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