Varian TV 1001 Navigator 渦輪分子泵維修－瓦里安Tv1001渦輪分子泵維修
Varian瓦里安分子泵是在歐洲意大利生產，廣泛用于各類
分析儀器中，在varian及Agilent的分析儀器中，Varian的分子泵占據統治地位，
全中國絕對多數分析奶粉三聚氰胺含量的儀器，都會用到Varian的產品。
美國的Agilent公司（原美國HP公司，分析儀器部）于2010年收購了Varian。
這個標志將是將來大家看到的瓦里安的新標志，安捷倫
中山共享專業維修Varian TV1001 Navigator渦輪分子泵
中山共享光電真空技術有限公司專業維修的Vatian TV 1001 NAV渦輪分子泵
varian TV1001 Navigator分子泵內置分子泵控制器有接口尺寸為ISO160 ISO200， CF10’’（CF160） 及ISO200F,ISO250 ISO250F,分別對應如下：
Varian TV1001 Model 969-8838 with ISO 200 high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8844 with ISO 200 F high vacuum lange;
Varian TV1001 Model 969-8839 with ConFlat 10” external diameter high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8840 with ISO 160 high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8841 with ISO 250 high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8845 with ISO 250 F high vacuum flange.
Varian TV1001帶內置控制器的訂貨示意圖如下：
Varian TV1001分子泵外置控制器的，其接口尺寸一樣有六種，分別為ISO160 ISO200， CF10’’（CF160）
及ISO200F,ISO250 ISO250F,
Varian TV1001 Model 969-8931 with ISO 200 high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8946 with ISO 200 F high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8932 with ConFlat 10” external diameter high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8933 with ISO 160 high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8934 with ISO 250 high vacuum flange;
Varian TV1001 Model 969-8947 with ISO 250 F high vacuum flange.
對應的訂貨號示意圖如下：
Varian TV1001 的渦輪轉子采用Varian**的“MacroTorr”技術設計加工而成，整個渦輪轉子整體成型，共有由11層葉片組成，前七層為標準葉片，每層的角度從高到低，后四層為Varian **技術的“Macrotorr”碟片組成，渦輪轉子其在分子泵內部以38000轉／分鐘的速度高速旋轉
以下為Varian TV1001的渦輪轉子實拍圖
Felight Vacuum System Co.,LTD 專業維修Varian TV1001渦輪分子泵。我司針常用的Varian TV1001分子泵維修保養內容如下：
＊超聲波**清洗轉/定子葉片及腔體并烘干
＊更換了全套原裝進口陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品
＊馬達線圈阻值測量,轉子定子間隙測量
＊根據ISO1940/1& ANSI S2.19,調整測試動平衡至Ｇ0.１6標準
＊測試0-38000rpm啟動時間<3分鐘
*測試極限真空值<1.0*10－7mbar
*持續模擬生產現場測試24小時
＊0-20KHz震動頻譜加速度分析
＊6000-380000rpm全轉速動平衡分析及校準
＊Pfeiffer HLT560氦質譜檢漏儀測試分子泵的滲漏率小于2.0*10-9mbar*L/s
Varian TV1001常見的真空結構示意圖如下：
圖片中的就是Varian TV1001 Navigator渦輪分子泵
Varian TV1001 NAV Model：9698932是指其口徑為CF10寸
Varian TV 1001的技術參數如下：
上方圖片中，中間的口為排氣空，下方的空為軸承充氣保護口，對應流量為20SCCM.
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