BOC Edwards STP-1003C 磁悬浮分子泵维修－中山共享光电真空技术有限公司
图片中的BOC Edwards STP-1003是爱德华公司，为甚高真空专门设计的三轴磁悬浮分子泵，
图片中，就是Edwards STP1003磁悬浮分子泵核心部件－涡轮转子，右边的iphone是做对比用的
BOC Edwards STP 301 STP 451 STP 603 STP 1003 STP 301C STP 451C STP 603C STP 1003C
爱德华Ultra High Vacuum Range分子泵
中山共享专业维修Edwards STP 301磁悬浮分子泵，专业从事Edwards STP301磁悬浮分子泵维修
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上图中，大的就是Edawrds STP451磁悬浮分子泵的转子，小的为Edwards EXT75DX复合分子泵的转子，做对比用
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上图中，是Edwards STP1003 与 Edwards EXT75DX的对比，中间的还是iphone 4s
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BOC Edwards STP1003三轴磁悬浮分子泵，有人称之为Edwards 1003，其中的STP不带任何后缀的含义为：Ultra high vacuum Range，其内部磁悬浮转子采用3轴控制模式
英国爱德华真空对STP系列三轴磁悬浮分子泵的描述的原文如下：
Used for CD SEM machines, Implanter, Beamlines, Mass Spectrometers, and other particle acceleration devices.
A pure rotor bladed pump (No Holweck stage) this generates a very high ultimate vacuum at the expense of some throughput.
The pumps in red have 3 axis bearings.
These pumps usually require a lower backing pressure.
STP H301C STP H451C STP H803C STP H1303C Edwards High Throughput Range分子泵
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Edwards STP-H1303五轴磁悬浮分子泵，有人称之为Edwards STPH1303，其中的H的含义为：High Throughput Range，其内部磁悬浮转子采用High Throughput Holweck Stage
英国爱德华真空对STP-H系列五轴磁悬浮分子泵的描述的原文如下：
Commonly used on 200mm Etch Machines.
The original High Throughput range.
They incorporate a Holweck drag stage which enhances the Throughput at the expense of ultimate vacuum.
All are 5 axis bearings.
Edwards STP A803C STP A1303C STP A1603C STP A2203C STP A2503C STP A3003C STP A3503C
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Edwards STP-A2203五轴磁悬浮分子泵，有人称之为Edwards STPA2203，其中的A的含义为：Advantage Range，其内部磁悬浮转子采用Advanced High Throughput Holweck Stage
英国爱德华真空对STP-A系列五轴磁悬浮分子泵的描述的原文如下：
Used on new generation 300mm Etch platforms and flat panel display tools.
Advanced rotor designs and materials:
Gives a higher performance from a similar sized pump.
The rotors have 3D geometry improving their performance.
The Holweck stage has been redesigned with the blading on the rotor rather than the stator, this improves Throughput.
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以上图片就是Edwards STP-A2203五轴磁悬浮分子泵的涡轮转子
Felight Vacuum System Co.,LTD 专心从事BOC Edwards STP-1003C 磁悬浮分子泵维修。我司针对的BOC Edwards STP-1003C 磁悬浮分子泵维修保养内容如下：
＊超声波**清洗转/定子叶片及腔体并烘干
＊更换了全套原装进口陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品
＊马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量
＊根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.１6标准
＊测试0-45000rpm启动时间<3分钟
*测试极限真空值<1.0*10－7mbar
*持续模拟生产现场测试24小时
＊0-20KHz震动频谱加速度分析
＊6000-45000rpm全转速动平衡分析及校准
涡轮分子泵维修是件非常专业细致的工作，专心专业的中山共享人，本着全心全意的精神，为客户
提供尽善尽美的服务。中山共享从事涡轮分子泵维修已6个年头，但却没有专门的业务人员，
也无意去招聘业务人员，我们的非常多的顾客都是原有的客户帮我们介绍的，在此中山共享
光电真空技术有限公司全体同仁，对支持帮助过我们的朋友表示万分的感谢
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