Inficon LDS3000 Modular Leak Detector

Inficon LDS3000 主機圖片如下：


Inficon LDS3000側面圖片如下：

其中，圖片中最右面的DN16口（標志為Gross Forepump)接前置真空泵，您可以選擇Agilent SH110， Agilent TriScroll 300, Agilent TriScroll 600等渦旋干泵，也可以選擇Leybold D4B，Leybold D8B，Leybold D16B等旋片油式真空泵

圖片中，最左邊的DN25口（標志為Ultra口）連接待測試的腔體。

Inficon LDS3000 使用的渦輪分子泵為德國普發公司的：



在圖片中，我們可以看到Inficon LDS3000氦質譜檢漏儀所用真空分子泵為Pfeiffer SpiltFlow 80, PMP04010D , PM143740-T
對應的分子泵電源為Pfeiffer TC110:

Infiocn LDS3000氦質譜檢漏儀分子泵電源為Pfeiffer TC110， PM C01 790A， 輸出頻率為1500Hz,對應轉速為90000rpm

  中山共享光電真空技術有限公司專業維修Pfeiffer TC110 ，Pfeiffer Spiltflow 80渦輪分子泵


Inficon LDS3000所用的控制面板為Inficon CU1000， 對應訂貨號為Inficon 560320
INficon CU1000對應的顯示內容如下：

Inficon LDS3000氦質譜檢漏儀所用控制面板Inficon CU1000 Label：

Inficon LDS3000 氦質譜檢漏儀所用的接口PLC： Inficon IO1000,對應訂貨號為Inficon 560－310

Inficon LDS3000 Modular Leak Detector IO 1000 photo:

 Inficon LDS3000 Modular Leak Detector整體裝配圖：