Edwards最新一代智能型渦旋干泵維修

2017.11.16,中山共享光電成功為客戶修復了一臺Edwards渦旋干泵nXDS35i,

這是Edwards最新一代智能型的渦旋干泵，同時也是目前所有渦旋干泵中真空級別最高的渦旋干泵。

維修現場測試中的真空為5.9E-3mbar,最高時可達E-4mbar

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