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德國普發 PFEIFFER TMH071P分子泵維修成功



Felight Vacuum System Co.,LTD專業維修各類分子泵，Ulvac Pfeiffer inficon shimadzu 等設備所用的Pfeiffer TMH071 分子泵更是我們的強項，且我司部分的檢測項目為亞洲獨有的，和德國原廠所用的新設備一致。我司特針常用的PfeifferTMH071渦輪分子泵維修保養內容如下：
＊超聲波**清洗轉/定子葉片及腔體 并烘干
＊更換了全套原裝進口陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品
＊馬達線圈阻值測量,轉子定子間隙測量
＊根據ISO1940/1& ANSI S2.19,調整測試動平衡至Ｇ0.１6標準
＊測試0-90000rpm啟動時間<3分鐘
*測試極限真空值<1.0*10－7mbar
*持續模擬生產現場測試24小時
＊0-20KHz震動頻譜加速度分析
＊6000-90000rpm全轉速動平衡分析及校準
＊Pfeiffer HLT560氦質譜檢漏儀測試分子泵的滲漏率小于2.0*10－9mbar*L/s

Pfeiffer TMH071渦輪分子泵是德國Pfeiffer Vacuum公司設計制造的一款分子泵，
Pfeiffer TMH071的轉速為90000rpm, 其對應的頻率為1500Hz，標準的Pfeiffer TMH071渦輪分子泵對應的極限真空為1.0*10-7mbar,使用不銹鋼外殼及CF口徑的Pfiffer TMH260極限真空可以達到5.0*10-10mbar
 
Felight Vacuum System Co.,LTD文章標注的極限真空，都是基于德國DIN 28 428的測試標準，使用不銹鋼CF接口，烘烤后48小時測得的。


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