Pfeiffer TMH071P-德國普發TMH071P 分子泵維修成功
*超聲波**清洗轉/定子葉片及腔體 并烘干
*更換了全套原裝進口陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品
*馬達線圈阻值測量,轉子定子間隙測量
*根據ISO1940/1& ANSI S2.19,調整測試動平衡至G0.16標準
*測試0-90000rpm啟動時間<3分鐘
*測試極限真空值<1.0*10-7mbar
*持續模擬生產現場測試24小時
*0-20KHz震動頻譜加速度分析
*6000-90000rpm全轉速動平衡分析及校準
*Pfeiffer HLT560氦質譜檢漏儀測試分子泵的滲漏率小于2.0*10-9mbar*L/s
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