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Edwards EXT400-300-30渦輪分子泵維修成功



Felight Vacuum System Co.,LTD 專業維修Edwards EXT400-300-30渦輪分子泵。我司針常用的
Edwards EXT400-300-30渦輪分子泵維修保養內容如下：
＊超聲波**清洗轉/定子葉片及腔體并烘干
＊更換了全套原裝進口陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品
＊馬達線圈阻值測量,轉子定子間隙測量
＊根據ISO1940/1& ANSI S2.19,調整測試動平衡至Ｇ0.１6標準
＊測試0-90000rpm啟動時間<3分鐘
*測試極限真空值<1.0*10－7mbar
*持續模擬生產現場測試24小時
＊0-20KHz震動頻譜加速度分析
＊6000-90000rpm全轉速動平衡分析及校準
＊Pfeiffer HLT560氦質譜檢漏儀測試分子泵的滲漏率小于2.0*10-9mbar*L/s
 
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