德国普发 PFEIFFER TMH071P分子泵维修成功

*超声波**清洗转/定子叶片及腔体 并烘干
*更换了全套原装进口陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品
*马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量
*根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至G0.16标准
*测试0-90000rpm启动时间<3分钟
*测试极限真空值<1.0*10-7mbar
*持续模拟生产现场测试24小时
*0-20KHz震动频谱加速度分析
*6000-90000rpm全转速动平衡分析及校准
*Pfeiffer HLT560氦质谱检漏仪测试分子泵的渗漏率小于2.0*10-9mbar*L/s
Pfeiffer TMH071的转速为90000rpm, 其对应的频率为1500Hz,标准的Pfeiffer TMH071涡轮分子泵对应的极限真空为1.0*10-7mbar,使用不锈钢外壳及CF口径的Pfiffer TMH260极限真空可以达到5.0*10-10mbar
Felight Vacuum System Co.,LTD文章标注的极限真空,都是基于德国DIN 28 428的测试标准,使用不锈钢CF接口,烘烤后48小时测得的。
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