在半导体晶圆的制造中，光磁存储生产中，太阳能面板制造中，TFT，OLED及其他光学**镀膜中，
**分析仪器及航空航天研究中，都离不开高真空，涡轮分子泵，复合分子泵，磁悬浮分子泵是目前获得高
真空最好设备之一，其工作原理是利用高速旋转的多层转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，
从而被压缩、被一层一层定子隔离，最终驱向排气口后为前级抽走而获得高真空。
分子泵转子，是典型的高速挠性转子，其多达十几层几百个叶片，转动的叶片和定子之间只有0.1毫米，
制造公差达到微米级。在转速高达每分钟7.2万转时，叶片端部的速度接近超音速，每次开始转动、停下时，
加速度和减速度都很大，轻微的偏差都将引起极大的震动，其平衡级别要求远在国际最高标准G0.4之上，
在其泵壳测量出的震动值要求达到0.01um，高速在线动平衡调整是其核心技术之一。
而高速旋转体，普遍存在状态的难确定性，涡轮分子泵的生产国家及厂商主要集中在英国爱德华公司
（Edwards），德国莱宝（leybold）公司及普发（Pfeiffer）公司，法国的阿尔卡特（Alcatel）公司及
意大利的瓦里安（Varian）公司，日本的岛津（shimadzu），大阪(Osaka)及荏原(Ebara),他们无一例外都
告知客户大约在1到2年后将分子泵送回原厂维修，
用户不知道如何判断涡轮分子泵的状态。新泵使用一到两年后，有的分子泵状态还好，完全无需送修；
有的就状态就很差，甚至已报废。而分子泵拆卸及安装会耗时不少，送修国外更是费时费力，价格不菲。
涡轮分子泵维修，复合分子泵维修，磁悬浮分子泵维修是项非常细致的工作，同时必须借助专门的
分子泵维修和检测设备。震动频谱分析仪就是涡轮分子泵维修的必备设备之一。
分子泵若轴承滚珠磨损，内圈磨损，外圈磨损，油脂**，旋转偏差，对中**，主轴弯曲，平衡**等，
都会表现在震动上，通过分子泵维修专用的震动频谱分析仪，查看一定范围的加速度频谱值，就能迅速准确
判断出分子泵的状态。
专业的分子泵维修公司一定会配备震动频谱分析设备，相反一些小的山寨厂，四处晃荡抄袭资料，
可能连震动频谱报告都未必能看明白，不能不防
中山共享光电真空技术有限公司是专业从事分子泵维修工作的，拥有分子泵维修检测必须的震动频谱
分析设备三台，拥有国家级**一项，能协助客户**分析分子泵的状态。
涡轮分子泵维修技术－振动频谱分析图
中山共享光电秉承"专心 专业 全心 全意 尽善 尽美"，竭诚为光学镀膜行业，光磁存储行业，半导体生产
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